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產(chǎn)品中心半導體光學檢測系列SiC晶圓少子壽命質(zhì)量成像監(jiān)測系統(tǒng)
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產(chǎn)品分類
熒光壽命成像,晶圓位錯缺陷檢測,SiC晶圓質(zhì)量成像檢測系統(tǒng)：晶圓襯底質(zhì)量（載流子壽命）高速成像，快速篩查外延片晶格質(zhì)量。
更新時間：2025-11-05
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